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氧化鋁陶瓷是一種以氧化鋁(Al2O3)為主體的陶瓷材料,用於厚膜集成電路。氧化(huà)鋁陶瓷有較好的傳導(dǎo)性、機械強度(dù)和耐高溫性。需要注意的是需用超聲波進行洗滌。氧化鋁陶瓷是一種用途廣泛的陶瓷,因為其優越的性能,在現代社會的應用已經(jīng)越來越廣泛,滿足於(yú)日用(yòng)和特殊性能的需(xū)要(yào)。
氧化鋁陶瓷分為(wéi)高純型與普通型(xíng)兩種。 高(gāo)純型氧化鋁陶瓷係(xì)Al2O3含量在99.9%以上的陶瓷材料,由於其(qí)燒(shāo)結溫度(dù)高達1650—1990℃,透射波長為1~6μm,一般製成熔融(róng)玻璃以(yǐ)取代鉑坩堝;利用(yòng)其透光性及可耐堿金屬(shǔ)腐蝕性用作鈉燈管;在電子工業中可用(yòng)作集成電路基板與高頻絕緣材料。 普(pǔ)通型氧化鋁陶瓷係按Al2O3含量不同分為99瓷、95瓷(cí)、90瓷(cí)、85瓷等品種,有(yǒu)時Al2O3含量在80%或75%者(zhě)也劃為普通氧化鋁陶瓷(cí)係列。其中99氧化鋁瓷材料用於製作高(gāo)溫坩(gān)堝(guō)、耐火爐管及特殊耐磨材料,如陶瓷軸承、陶瓷密封(fēng)件及水閥片等;95氧化鋁瓷主(zhǔ)要用作耐腐(fǔ)蝕、耐磨部件;85瓷(cí)中由於(yú)常摻入部分滑石,提高了電性能與機械強度,可與鉬、铌、鉭等金屬封接,有的用作電真(zhēn)空裝置器(qì)件。
粉(fěn)體製備 將入廠(chǎng)的氧化鋁粉按照(zhào)不同的產品要求與不同成型工藝製(zhì)備成粉體(tǐ)材料。粉體粒度在1μm以下,若製造高純氧化鋁陶瓷(cí)製品除氧化鋁純度(dù)在99.99%外,還需超細(xì)粉碎且使其粒徑分布均勻。采用擠壓成型或注射成型時,粉料(liào)中需引入粘結劑與(yǔ)可塑劑,一般為重量比在10-30%的熱塑性塑膠或樹(shù)脂有機(jī)粘結(jié)劑應與氧化鋁粉體在150-200溫度下均勻混合,以利於成型操作。采用熱壓工(gōng)藝成型的粉體原料則不需加入粘結劑。若采用半自動或全(quán)自動幹壓(yā)成型,對粉體有特別(bié)的工藝(yì)要求(qiú),需要采用噴霧造粒法對粉體進行處理、使其呈現圓球(qiú)狀,以利於提高粉(fěn)體流動性(xìng)便於成(chéng)型中自動充填模壁。此外,為減少(shǎo)粉料與模壁的(de)摩擦,還(hái)需添加1~2%的潤滑劑,如硬脂酸,及粘(zhān)結(jié)劑(jì)PVA。 欲幹壓成型時需對粉體噴(pēn)霧造粒,其中引入聚乙烯醇作為粘(zhān)結劑。上海某研究所開發一種水溶性石蠟用作Al203噴霧造粒的粘結(jié)劑,在加熱情況下有很好的流動性。噴霧(wù)造粒後的粉體必須(xū)具備流動性好、密度鬆散,流動角(jiǎo)摩擦溫度小於(yú)30℃。顆粒級配比理想等條件,以獲得較(jiào)大素坯密(mì)度。 成型方法(fǎ) 氧化鋁陶瓷製品成型方法有幹壓、注漿、擠壓、冷(lěng)等靜壓、注射、流延、熱壓與熱(rè)等(děng)靜壓成型等多種方法。近幾年來國內外又開發出壓濾成型、直接(jiē)凝(níng)固注模成型、凝(níng)膠注成型、離(lí)心注漿成型與固(gù)體(tǐ)自由成型等成型技術方(fāng)法。不同的(de)產(chǎn)品形狀、尺寸、複雜造(zào)型與精度的產品(pǐn)需要不(bú)同(tóng)的(de)成型方法。 常用成型介紹: 1、幹壓成型(xíng):氧化鋁陶瓷幹壓成型技術(shù)限於形狀單(dān)純且內壁厚度超過(guò)1mm,長度與直徑之比不大於4∶1的物件。成型方法有單軸向或(huò)雙向。壓(yā)機有液壓(yā)式、機械式兩種,可呈半自(zì)動或全(quán)自動(dòng)成型方式。壓機壓力為200Mpa。產量(liàng)每(měi)分鍾可達15~50件。由於(yú)液壓式壓機衝程壓力均勻,故(gù)在粉料充填(tián)有差異時壓製件高度(dù)不同。而機械式壓機施加壓力大小因粉(fěn)體充填多少而變化,易導致燒結後尺寸收(shōu)縮產生差異,影(yǐng)響產品質量。因此幹壓過程中粉體顆粒均勻分布對模具充(chōng)填非常重要(yào)。充填(tián)量準確與否對製造的氧化鋁陶瓷零件尺寸精度控製影響很大(dà)。粉體顆粒(lì)以大於60μm、介於60~200目之(zhī)間(jiān)可獲自由流動(dòng)效果,取得壓力成(chéng)型效果。 2、注漿成(chéng)型法(fǎ):注漿(jiāng)成型是氧化(huà)鋁陶瓷使用(yòng)早的成型方法。由於(yú)采(cǎi)用(yòng)石膏模、成(chéng)本低且易於成型大尺寸、外形複(fù)雜的部件。注漿(jiāng)成(chéng)型的關鍵是氧化鋁(lǚ)漿料的製備。通常以(yǐ)水為熔劑介質,再加入解膠劑與粘結劑,充分研(yán)磨之(zhī)後排氣,然後倒注入石膏(gāo)模內。由於(yú)石膏模毛細管對水分的吸附,漿料遂固化在模內。空心注漿時,在模壁吸附漿料達要求厚度時,還需將(jiāng)多餘(yú)漿(jiāng)料倒出。為減少坯體收縮量、應盡量使用高濃度漿料。 氧化鋁陶瓷漿料中還需(xū)加入有機添加劑以使料漿顆粒表(biǎo)麵形(xíng)成雙(shuāng)電層使料漿穩定懸浮不沉澱(diàn)。此外還需加入乙烯醇、甲基纖維素、海藻酸胺等粘(zhān)結(jié)劑及(jí)聚丙烯(xī)胺(àn)、阿拉伯樹膠等分散劑,目的均在於使漿料適(shì)宜注漿成型操作。